국내 연구진이 개발한 나노측정기술이 국제전기기술위원회(이하 IEC)에 의해 미세전자기계시스템(MEMS) 분야 국제표준 기술로 채택됐다.

교육과학기술부(장관 이주호)는 한국기계연구원 나노융합․생산시스템연구본부 이학주(李學珠, 52) 박사팀이 개발해온 나노측정기술 '띠굽힘시험법'이 IEC에 의해 국제표준으로 선정됐으며, IEC는 이를 홈페이지(http://www.iec.ch/)를 통해 사전공표(~2.18)했다고 밝혔다.

사전공표(prerelease)란 IEC에서 표준화 기술을 선정한 후 인터넷 등을 통해 사전에 공표하는 절차를 말한다.

이 기술은「21세기프론티어연구개발사업」의 한 축인 나노메카트로닉스개발사업단(단장 이상록)의 연구성과로 지금까지 마이크로 및 나노 구조물 상용화에 걸림돌이 돼온 신뢰성 문제 해결에 큰 도움을 줄 전망이다.

국제표준채택으로 우리나라는 13조5천억원(2010년)으로 추정되는 나노측정기술 산업분야에서 경쟁력을 확보할 수 있는 계기를 마련하게 됐다.

이 기술은 ‘띠굽힘시험법을 이용한 박막의 인장물성 측정’(IEC 62047-8 Ed. 1.0)이라는 IEC 국제표준명으로 책자로 발간될 예정이다.

2007년 열린 IEC MEMS 분야 국제 표준화회의에서 ‘띠굽힘시험법’을 신규 국제표준(안)으로 채택, 이 박사를 중심으로 세계 각국의 전문가들로 구성된 작업반(working group)을 조직해 기술적인 의견수렴을 계속해 왔다.

띠굽힘시험법이란 각종 마이크로 및 나노 구조물 등에 사용하는 박막의 인장물성을 간편하고 정확하게 측정할 수 있도록 함으로써 측정의 자동화와 관련 제품들의 신뢰성 향상에 크게 기여할 수 있는 기술이다. 연구책임자인 이 박사는 “이번 IEC에 의해 표준기술로 인정받음으로써 기술경쟁이 치열한 첨단 전자산업 분야에서 우리나라 기업들의 기술주도가 기대된다”고 밝혔다.

이학주 박사팀은 이외에도 미소 기둥 압축시험법, 박막의 열팽창계수 측정법 등 박막의 기계적 물성 측정법 분야에서도 국제표준을 주도하고 있다.